四、光刻機行業重點企業
1、上海微電子
上海微電子成立于2002年，是中國領先的光刻設備制造商。上海微電子的光刻機產品涵蓋了從幾微米到28納米的多種技術節點，廣泛應用于集成電路、分立器件、LED等半導體領域的制造。
資料來源：中商產業研究院整理
上海微電子光刻機具備高精度、高效率、高速度、低能耗等技術特點。
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